潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,百級(jí)無塵車間,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。凈化車間根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,為若干等級(jí),常用的有和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
凈化工程的關(guān)鍵是設(shè)計(jì),工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工,還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等,施工人員須對(duì)潔凈室施工規(guī)范、施工工藝、施工質(zhì)量有認(rèn)識(shí),否則,施工質(zhì)量很難得到保障。現(xiàn)在國內(nèi)的相關(guān)企業(yè)很多,所以凈化工程企業(yè)之間的競(jìng)爭(zhēng)也很激烈,因?yàn)榭萍嫉陌l(fā)展使得市場(chǎng)對(duì)凈化工程的要求高了起來,從以前的價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)變成了現(xiàn)在的價(jià)值競(jìng)爭(zhēng)。所以相關(guān)的凈化工程企業(yè)應(yīng)該提高自身的自主研發(fā)能力,不斷的發(fā)展創(chuàng)新,才能適應(yīng)這個(gè)競(jìng)爭(zhēng)激烈的市場(chǎng)。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。一般潔凈室高度控制在2.60米,對(duì)個(gè)別較高的設(shè)備可在局部加高,而不宜提高潔凈區(qū)的高度。凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用空氣過濾器三級(jí)過濾。車間凈化工程可以細(xì)分為很多方面,每一方面的標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到了,車間凈化工程才算是成功的。
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