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精細(xì)研磨-特斯特電子科技公司-精細(xì)研磨設(shè)備價(jià)格

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EMMI微光顯微鏡

微光顯微鏡(Emission Microscope,精細(xì)研磨設(shè)備價(jià)格, EMMI)是常用漏電流路徑分析手段。對(duì)于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs)Recombination會(huì)放出光子(Photon)。如在P-N結(jié)加偏壓,此時(shí)N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱,而P的空穴也容易擴(kuò)散至N,然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination。在故障點(diǎn)定位、尋找近紅外波段發(fā)光點(diǎn)等方面,精細(xì)研磨機(jī)器,微光顯微鏡可分析P-N接面漏電;P-N接面崩潰;飽和區(qū)晶體管的熱電子;氧化層漏電生的光子激發(fā);Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問(wèn)題.

微光顯微鏡emmi檢測(cè)和emmi分析解說(shuō)

通常第三方檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室用戶對(duì)emmi檢測(cè)需要了解哪些內(nèi)容呢?首先在分析故障的時(shí)候利用微光顯微鏡,精細(xì)研磨設(shè)備,它的主要特點(diǎn)是效率非常高,主要偵測(cè)IC內(nèi)部所發(fā)射出來(lái)的光子,精細(xì)研磨,在檢測(cè)芯片的時(shí)候由于電子很容易擴(kuò)散到的位置。所以做emmi檢測(cè)通常是非常有必要的。它的主要優(yōu)勢(shì)就是通過(guò)產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷,能夠接處毛刺從而有效的進(jìn)行分析,可以檢測(cè)不到亮點(diǎn)的情況,然后進(jìn)行排除。同時(shí)利用光誘導(dǎo)的電阻變化能夠準(zhǔn)確的,對(duì)于IC元件的短路,或者是互聯(lián)當(dāng)中所出現(xiàn)的空洞來(lái)進(jìn)行檢測(cè),這樣才會(huì)更加的。

超聲波顯微鏡在失效分析中的應(yīng)用

   晶圓面處分層缺陷 錫球、晶圓、或填膠中的開(kāi)裂晶圓的傾斜各種可能之孔洞(晶圓接合面、錫球、填膠…等)。超聲波顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢(shì)非破壞性、無(wú)損檢測(cè)材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu) 可分層掃描、多層掃描 實(shí)施、直觀的圖像及分析 缺陷的測(cè)量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計(jì) 可顯示材料內(nèi)部的三維圖像 對(duì)人體是沒(méi)有傷害的 可檢測(cè)各種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等)      

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