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薛城多晶硅凈化工程裝修設(shè)計(jì)“本信息長(zhǎng)期有效”

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潔凈廠房竣工驗(yàn)收時(shí),應(yīng)認(rèn)真檢查竣工驗(yàn)收的資料,多晶硅凈化工程裝修設(shè)計(jì),一般包括下列文件及記錄:

(1)圖紙會(huì)審記錄、設(shè)計(jì)變更通知書(shū)和竣工圖;

(2)各分部工程的主要設(shè)備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進(jìn)場(chǎng)檢驗(yàn)報(bào)告;

(3)各分部工程的單機(jī)設(shè)備、系統(tǒng)安裝及檢驗(yàn)記錄;

(4)各分部單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄;

(5)各分部工程、系統(tǒng)無(wú)負(fù)荷試運(yùn)轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄;

(6)各類(lèi)管線(xiàn)試驗(yàn)、檢查記錄;

(7)各分部工程的安全設(shè)施的檢驗(yàn)和調(diào)試記錄;

(8)各分部工程的質(zhì)量驗(yàn)收記錄。

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    潔凈室增壓是必須的,它的作用是確保潔凈室遠(yuǎn)離其臨近區(qū)域的污染,控制有害污染物的流向,防止不同區(qū)域間的交叉污染,并幫助保持所要求的溫度和濕度水平。

    潔凈室與相關(guān)走廊、設(shè)施內(nèi)的其他區(qū)域的壓差應(yīng)維持在0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之間。一般制藥企業(yè)所要求的壓差值比這更高,在不同區(qū)域之間采用層疊壓差來(lái)避免交叉污染。在不同的區(qū)域間安裝一系列的層疊式氣閘和允許空氣快速擴(kuò)散的正壓門(mén),從而產(chǎn)生壓差。好的微電子潔凈室設(shè)計(jì)中,通常在潔凈室的入口安裝一個(gè)半密封的氣閘來(lái)使壓差保持在0.02到0.005in.w.g.之間。更衣間和穿衣間用氣閘分離。入口入的機(jī)械風(fēng)淋相對(duì)于它的必要性而言,更是設(shè)施文化和潔凈室的原則問(wèn)題。

在凈化工程安裝施工過(guò)程中對(duì)凈化工程安裝施工進(jìn)度目標(biāo)進(jìn)行動(dòng)態(tài)跟蹤和控制

1、按照進(jìn)度控制的要求,收集凈化工程安裝施工進(jìn)度實(shí)際值。

2、定期對(duì)凈化工程安裝施工進(jìn)度的計(jì)劃值和實(shí)際值進(jìn)行比較。根據(jù)本項(xiàng)目特點(diǎn),進(jìn)度的控制周期可定為一旬或半月。比較凈化工程安裝施工進(jìn)度的計(jì)劃值和實(shí)際值時(shí)應(yīng)注意,其對(duì)應(yīng)的工程內(nèi)容應(yīng)一致,如以里程碑事件的進(jìn)度目標(biāo)值或再細(xì)化的進(jìn)度目標(biāo)值作為進(jìn)度的計(jì)劃值,則進(jìn)度的實(shí)際值是相對(duì)于里程碑事件或再細(xì)化的分項(xiàng)工作的實(shí)際進(jìn)度。

進(jìn)度的計(jì)劃值和實(shí)際值的比較應(yīng)是定量的數(shù)據(jù)比較,比較的成果是進(jìn)度跟蹤和控制報(bào)告如編制進(jìn)度控制的旬、月、季、半年和年度報(bào)告等。

3、通過(guò)凈化工程安裝施工進(jìn)度計(jì)劃值和實(shí)際值的比較,如發(fā)現(xiàn)進(jìn)度的偏差,則必須采用相應(yīng)的糾偏措施進(jìn)行糾偏.

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