從確保潔凈室內(nèi)相對(duì)濕度的精度而言,上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高,故當(dāng)潔凈室內(nèi)相對(duì)濕度精度要求≤±10%時(shí)不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個(gè)噴蒸汽效率的問(wèn)題,并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風(fēng)中,而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來(lái)。因此,選擇干蒸汽加濕的加濕量時(shí)應(yīng)考慮其噴蒸的效率。有的廠家給出的噴蒸效率為70%。
無(wú)塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
無(wú)塵車間凈化工程該如何選擇與維護(hù)保養(yǎng)呢?
1.應(yīng)選擇塵土性偏少的凈化工程及有關(guān)設(shè)備,特別是在要留意主題活動(dòng)一部分的塵土。
2.應(yīng)選擇浮塵之危害較小的凈化工程或插口設(shè)備。
3.制造用的水、汽體、等通常是導(dǎo)致環(huán)境污染的緣故,故應(yīng)配置過(guò)濾系統(tǒng)。
4.設(shè)計(jì)各設(shè)備的配備室內(nèi)空間時(shí),事前宜考慮到不容易累積微塵的構(gòu)造,設(shè)計(jì)各并且以非常容易清理為標(biāo)準(zhǔn)。
5.機(jī)械泵等非常容易造成空氣污染物的這種設(shè)備,應(yīng)設(shè)定在潔凈室外邊或送風(fēng)區(qū),并改裝排汽管線排氣管。
6.設(shè)定排水管道線、汽體管道和電路系統(tǒng)時(shí),邵陽(yáng)無(wú)塵室車間設(shè)計(jì)施工廠家,其結(jié)構(gòu)須充分考慮非常容易清理,不容易累積空氣污染物。
7.制造及有關(guān)設(shè)備應(yīng)按時(shí)清理,以防止微塵的沉積。
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